リサーチプロフェッサー

若手型

理工研究域
電子情報学系

助教松本 翼

  • 研究者情報
  • 電子・電気材料工学,薄膜・表面界面物性

Keywords

ダイヤモンド,半導体,パワーデバイス

Research content

 本研究は,ダイヤモンド半導体を用いた革新的パワーデバイスの創製により省エネ・低炭素社会の実現を目指す。具体的には,高効率大電力変換器(ダイヤモンドインバータ)に必要な超低損失・超高電流Schottky-pnダイオードとパワーMOSFETの開発を行う。既に世界に先駆けてダイヤモンドMOSFETの動作実証に成功しており,デバイス性能のさらなる飛躍を狙う。
 それらを達成するために,革新的ダイヤモンドパワーデバイスの研究開発に関して,産官学連携・国際連携を図る。また,新しい概念のパワーデバイスとしてダイヤモンド電子源の開発も行い,ダイヤモンドパワーデバイス開発に必要な超低抵抗n型ダイヤモンドの創製技術確立に向けた研究を行う。

研究目標
  • 低抵抗(1Ωcm以下)n型ダイヤモンド層を開発する。
  • 1 kV以上の耐圧を有するダイヤモンドSchottky-pnダイオードを開発する。
  • 移動度1,000 cm2/Vsを超えるダイヤモンドMOSFETを開発する。
  • ダイヤモンド電子源における電子放出機構を解明する。

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